Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Dipl.-Ing. Walter Olbrich (auth.)კატეგორია:
წელი:
1994
გამოცემა:
1
გამომცემლობა:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
ენა:
german
გვერდები:
126
ISBN 10:
3642478921
ISBN 13:
9783642478925
სერია:
IPA-IAO — Forschung und Praxis 202
ფაილი:
PDF, 3.67 MB
IPFS:
,
german, 1994